Phasics 波前传感器 SID4-UVHR

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产品型号:SID4-UVHR
?牌:Phasics
公司名称:上海屹持光电技术有限公司
??地:上海闵行
发布时间:2019-09-25
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产品简介

Phasics利用其砖利的四波横向剪切干涉技术,在紫外波前测量提供了优良的解决方案。它有非常高空间分辨率(250x250测量点)和在190-400nm范围具有高灵敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性(用于光刻技术、半导体…)和表面检查(透镜和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。

产品详细信息

Phasics SID4-UVHR波前传感器

Phasics利用其砖利的四波横向剪切干涉技术,在紫外波前测量提供了优良的解决方案。它有非常高空间分辨率(250x250测量点)和在190-400nm范围具有高灵敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性(用于光刻技术、半导体…)和表面检查(透镜和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地适应各种实验条件。

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???SID4-UVHR????????????????????光学器件测量??????????????????自适应光学

?特点:

由于其独特的砖利技术技术,PhasicsSID4-UVHR波前传感器具备以下特点:

1.超高分辨率:250x250测量点

2.高灵敏度:0.5nm

3.通光孔径大8*8mm

4.直接测量:光学元件和表面质量

?应用:

SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用:

紫外激光器:光束测试与校正

光学测量:UV光学测试(半导体…)和表面测量

?SID4-UVHR产品参数:

波长范围

190 - 400 nm

通光孔径

8 x 8 mm2

空间分辨率

32 μm

采样点(相位/强度)

250 x 250 (> 62 500 points)

相位相对灵敏度

0.5 nm RMS

相位精度

10 nm RMS

动态范围

?~

采样频率

> 30 fps

实时分析频率

1 fps (full resolution)

数据接口

Giga Ethernet

尺寸(w x h x l)

95 x 105 x 184 mm

重量

~900 g

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